CVD金刚石与量子技术周报|2026.10.19–10.25
本期补录北京大学等团队10月15日在线发表的12英寸多晶金刚石膜接收稿,记录MPCVD、边缘激光切槽、自动剥离和衬底复用流程,并指出尚无稳定批量良率证据。斯莱克金刚石铜冷板仍处样品开发和企业基础测试阶段;中国电科AlN/金刚石增强型FET的集团公告发布于本周,但论文已于9月在线。NV激光阈值磁强计研究于10月22日正式发表,相关预印本早在2025年公开。
核心判断
- 12英寸多晶金刚石膜研究展示了从生长、边缘处理到自动剥离和衬底复用的制造流程,但现有数据不能证明稳定批量良率。
- 金刚石铜冷板已到样品开发和企业内部基础测试,客户验证与量产仍未完成。
- NV激光阈值读出研究本周正式发表,但实验并非本周首次公开;理论灵敏度极限不等于实测灵敏度。
CVD金刚石与量子技术周报|2026.10.19—10.25
**统计窗口:**2026年10月19日00:00—25日23:59(北京时间)
**本期观察:**12英寸多晶金刚石膜补录;金刚石铜冷板仍在样品阶段;NV激光阈值研究正式发表。
一、核心判断
本期最有研究价值的材料进展,实际上发生在上一周。北京大学等团队10月15日在线发表的12英寸多晶金刚石膜论文,展示了将MPCVD生长、激光边缘处理、自动剥离和硅衬底复用连接起来的流程。我们在上期遗漏了这项研究,本期按规则补录,并保留其真实发表日期。它的意义在于把关注点从“能否做出大面积膜”推进到“能否以可重复、可计算成本的方式制造”;目前尚不能据此判断稳定批量良率。
本周较明确的商业进度来自斯莱克金刚石铜冷板:企业称已完成样品开发和基础性能测试,客户送样、可靠性测试与产线建设仍属下一阶段。量子领域,NV激光阈值读出研究于10月22日正式发表,但其实验早在2025年9月以预印本公开。正式发表值得记录,不能改写为本周首次实现。
二、P1重点
【上期重要补录】北京大学等团队展示12英寸多晶金刚石膜制造流程。
- **原始在线日期:2026-10-15。补录原因:**上期重要研究漏检;新取得论文接收稿并核实关键工艺、表征数据。
- National Science Review论文采用12英寸硅晶圆作生长衬底,经过MPCVD沉积、约20 μm的边缘环形切槽及自动剥离,论文称单次剥离约10秒,并可保留衬底供再次使用。
- 图1及正文报告:在约30 μm膜厚时,厚度方向热导率约1700 W/(m·K);16个区域拉曼表征的平均峰位约1333 cm⁻¹、平均半高宽约5.9 cm⁻¹。数据出自作者接收稿,不是客户散热系统实测结果。
- 研究承接2024年《Nature》报道的2英寸多晶膜剥离工作。尚未披露足以核算量产能力的批次数、完整率分母、衬底可复用循环次数及系统级TBR/可靠性。
来源:NSR论文(10月15日在线)|2024年Nature前序研究。
三、CVD / MPCVD与热管理
**斯莱克金刚石铜冷板:从样品开发到企业内部测试。**10月20日项目汇报、21日公开信息显示,团队已制备冷板样品,并进行了公司基础性能测试,涉及气压熔渗、烧结与扩散焊。下一步拟开展客户送样、可靠性测试与产线建设。尚无可比条件下的系统热阻、界面热阻、CTE、寿命或客户认证数据,不能写成量产交付。来源:经济参考网。
中国电科立方AlN/金刚石异质结FET:本周官宣,论文并非本周首发。集团10月21日披露进展,对应Advanced Functional Materials论文已于9月18日在线发表。其路线是在金刚石上通过MOCVD外延立方相AlN、形成二维空穴气并演示增强型FET;论文摘要报告室温迁移率314 cm²/(V·s)。这属于有源器件研究,不等同于热管理衬底订单。集团官网|论文。
四、量子器件与传感
Nature Communications于10月22日正式发表Schall等人的NV色心激光阈值磁强计研究。**同题预印本最早于2025年9月5日公开,2026年5月又有修订。**实验通过1042 nm双介质激光腔获得100%光学对比度,并报告最高约50 mW输出;低于400 fT/√Hz和最优127 fT/√Hz属于根据ODMR曲线计算的光子散粒噪声灵敏度极限,尚非实测磁场灵敏度。“最高590倍”比较的是固有动态范围与理论灵敏度极限的组合关系,不是实际灵敏度提升590倍。正式论文|arXiv版本记录。
五、会议与展会
桂林大会会后信息补充。第18届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会暨国际金刚石创新应用大会实际于10月14—16日举行;10月20日与23日发表了会后报道。报告涉及高品质MPCVD、金刚石/铜与CVD导热、激光精密加工、异质结及功能化应用。现有报道主要提供报告题目与交流概况,未获得可独立核验的新增工艺数据、客户认证或订单,不将会议本身重新算作本周事件。会后报道一|会后报道二。
六、社媒观察
社媒本周继续传播纬颖OCP微通道金刚石方案、四方达测试订单及日本金刚石MOSFET电路等线索,但分别对应10月14日原始技术材料、此前已披露的业务状态及10月13日的企业通告。这些线索仍值得跟踪,不应按转发日期变成新成果。尚无原始实验与第三方资料支持的量子计算性能宣称,暂不收录。
七、后续关注
关注12英寸膜的跨批次完整率、复用次数、热导率测量温度及贴装后的TBR;跟踪冷板送样与客户可靠性;追踪增强型金刚石FET的射频性能和寿命。新疆昆鹏热沉项目中标材料、DMA郑州大会是否正式改期,待主办方或采购主体的原始文件闭合后再作判断。
八、完整版预告
完整版拆解12英寸薄膜的制造流程与图1数据边界,核对NV论文2025预印本到2026正式版的差异,并按样品、企业测试、客户认证和订单四个层级评估热管理商业化进度。
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不确定性说明
- 12英寸金刚石膜数据来自论文接收稿,不是客户散热系统实测;批次数、完整率分母、衬底复用次数及系统级TBR和可靠性尚未披露。
- 斯莱克当前公开进度为样品和公司基础性能测试,客户送样、可靠性验证与产线建设仍是后续事项。
- 中国电科本周发布集团新闻,但对应论文已于2026年9月18日在线发表。
- NV论文中的低于400 fT/√Hz及127 fT/√Hz属于基于ODMR曲线计算的光子散粒噪声灵敏度极限,并非实测磁场灵敏度;590倍不是实际灵敏度提升倍数。
参考来源
- Scalable Fabrication of 12-inch Polycrystalline Diamond Membranes|National Science Review / Oxford Academic
- A 2-inch polycrystalline diamond membrane fabricated by MPCVD and laser slicing|Nature
- 斯莱克金刚石铜冷板项目进度|经济参考网
- 首个!中国电科金刚石异质结取得突破|中国电子科技集团有限公司
- Cubic AlN/Diamond Heterostructure and Enhancement-Mode FET|Advanced Functional Materials
- Laser-enhanced quantum sensing boosts sensitivity and dynamic range|Nature Communications
- arXiv:2509.05204 version history|arXiv
- 第18届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会会后报道|电子工程专辑
- 国际金刚石创新应用大会会后报道|电子工程专辑